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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115439435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211060075.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法和装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法和装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：根据设计版图的坐标位置信息确定目标量测点；基于设计版图和预设的量测条件，生成预设量测范围内的所有的量测框；根据目标量测点和所有的量测框生成量测配方文件，并基于量测配方文件获取目标量测点的扫描电子显微镜图像；将扫描电子显微镜图像与设计版图对准，得到对准结果；基于对准结果和量测配方文件，对扫描电子显微镜图像进行量测，以获取量测值，并输出量测值。根据本申请实施例，能够节省人力和时间、扩大量测方法适用范围，以及避免人为导入错误。

本发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像的量测方法，其特征在于，包括：根据设计版图的坐标位置信息确定目标量测点；基于所述设计版图和预设的量测条件，生成预设量测范围内的所有的量测框；所述量测框包括：边缘位置量测框，线宽量测框和不同层间图形间距量测框，其中，所述基于所述设计版图和预设的量测条件，生成预设量测范围内的所有的不同层间图形间距量测框包括：确定所述预设量测范围内所有的不同层间图形；基于所述不同层间图形，分别确定所述不同层间图形之间的间距信息；基于所述设计版图、所述预设的量测条件和所述不同层间图形之间的间距信息，生成所述线宽量测框；根据所述目标量测点和所述所有的量测框生成量测配方文件，并基于所述量测配方文件获取所述目标量测点的扫描电子显微镜图像；将所述扫描电子显微镜图像与所述设计版图对准，得到对准结果；基于所述对准结果和所述量测配方文件，对所述扫描电子显微镜图像进行量测，以获取量测值，并输出所述量测值。

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