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龙图腾网恭喜北京东方计量测试研究所申请的专利等离子体测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114245555B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111474864.3，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权等离子体测量装置是由邓星亮;张书锋;武宇婧;贾军伟;柴昊;郎昊设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种等离子体测量装置，包括：探针组件，用于收集等离子体的电子和离子电流；高压扫描电源模块，用于产生电压波形并施加于所述探针组件；信号调理模块，用于切换所述探针组件的工作模式，并对所述探针组件反馈的电压和电流信号进行调理；数据采集模块，用于采集不同工作模式下经过调理的所述电压和电流信号，并对所述电压和电流信号进行处理后获得等离子体参数；所述工作模式包括扫描单探针、直流偏置单探针、扫描双探针和直流偏置三探针。由此，本发明通过切换四种探针工作模式，可以实现大范围等离子体密度和温度测量，满足稳态和瞬态等离子体参数的测量，同时极大地提高了等离子体参数的测量精度和效率。

本发明授权等离子体测量装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体测量装置，包括：探针组件1，用于收集等离子体的电子和离子电流；高压扫描电源模块2，用于产生电压波形并施加于所述探针组件1；信号调理模块3，用于切换所述探针组件1的工作模式，并对所述探针组件1反馈的电压和电流信号进行调理；数据采集模块4，用于采集不同工作模式下经过调理的所述电压和电流信号，并对所述电压和电流信号进行处理后获得等离子体参数；其特征在于，所述工作模式包括扫描单探针、直流偏置单探针、扫描双探针和直流偏置三探针；所述信号调理模块3和所述数据采集模块4之间采用光耦传递信号，所述高压扫描电源模块2的扫描电压频率不小于250kHz；所述高压扫描电源模块2和所述数据采集模块4分别与所述信号调理模块3连接，所述信号调理模块3与所述探针组件1通过一根同轴线缆6连接；所述高压扫描电源模块2包括：信号发生器21，用于产生高频低幅值且幅值和频率可调的三角波输入信号；第一运算放大器22，用于对输入信号进行放大；电压转换器23，用于信号隔离；线性隔离器24，用于将经过所述第一运算放大器22放大的输入信号转换为直流偏置信号并隔离；继电器25，用于切换所述电压转换器23和所述线性隔离器24的通断状态；第二运算放大器26，用于将所述继电器25输出的信号进行放大。

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