恭喜杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利杯清洗装置及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110411068.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权杯清洗装置及其工作方法是由白承大;许今东;金成烨;崔浩辰;孙在焕;金升范设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本杯清洗装置及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明的多个实施例涉及杯清洗装置及其工作方法，杯清洗装置包括：位置调整装置；阀门；存储器；以及处理器，与所述位置调整装置、所述阀门以及所述存储器相连接，所述处理器使装载晶圆的操作台装置进行旋转，在通过所述位置调整装置调整回收化学物质的多个杯的位置的期间，控制所述阀门喷射用于对所述多个杯进行清洗的清洗物质，若从喷射所述清洗物质的时间点开始经过预设时间，则控制所述阀门不喷射所述清洗物质。其他实施例也能够实现。
本发明授权杯清洗装置及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种杯清洗装置，其特征在于，包括：位置调整装置；阀门；存储器；以及处理器，与所述位置调整装置、所述阀门以及所述存储器相连接，所述处理器使装载晶圆的操作台装置进行旋转，在通过所述位置调整装置调整回收化学物质的多个杯的位置的期间，所述处理器控制所述阀门喷射用于对所述多个杯进行清洗的清洗物质，若从喷射所述清洗物质的时间点开始经过预设时间，则所述处理器控制所述阀门不喷射所述清洗物质，所述杯清洗装置还包括第一清洗喷嘴，所述第一清洗喷嘴向包围使所述操作台装置旋转的轴的外壳的至少一部分喷射清洗物质。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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