恭喜杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利基板固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539934B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110411348.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板固定装置是由白承大;金成烨设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板固定装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板固定装置，包括：操作台部，安装于转轴部并旋转，所述操作台部对基板进行支承且与所述转轴部通电；固定部，沿所述操作台部的圆周方向安装有多个，对所述基板进行固定并与所述基板通电；以及驱动部，在所述操作台部的内部移动并使所述固定部旋转，并且与所述操作台部通电。该基板固定装置能够迅速消除在基板处理过程中产生的静电，从而防止基板不良。
本发明授权基板固定装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理用通电装置，其特征在于，包括：操作台部，安装于转轴部并旋转，所述操作台部对基板进行支承且与所述转轴部通电；固定部，沿所述操作台部的圆周方向安装有多个，对所述基板进行固定并与所述基板通电；以及驱动部，在所述操作台部的内部移动并使所述固定部旋转，并且与所述操作台部通电，所述驱动部包括驱动调节部，所述驱动调节部配置于所述转轴部并能够调节所述驱动调节部的上下长度，所述驱动调节部包括调节气缸部，所述调节气缸部内置于所述转轴部且所述调节气缸部的长度沿着上下方向被拉长或缩短。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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