恭喜杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539888B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110408018.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由白承大;许今东;金成烨设计研发完成，并于2021-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置，更详细而言，涉及一种基板处理装置，包括：腔室部；基座部，内置于所述腔室部；转轴部，以能够旋转的方式安装于所述基座部，并且使放置于所述转轴部的基板旋转；多个处理部，以能够旋转的方式安装于所述基座部，向所述基板与所述基座部之间移动，并且向所述基板喷射处理物质；以及阻尼器部，安装于所述腔室部，使所述腔室部的内部压力保持固定。该基板处理装置能够优化腔室部的尺寸，并且抑制基板不良。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔室部；基座部，内置于所述腔室部；转轴部，以能够旋转的方式安装于所述基座部，并且使放置于所述转轴部的基板旋转；多个处理部，以能够旋转的方式安装于所述基座部，向所述基板与所述基座部之间移动，并且向所述基板喷射处理物质；阻尼器部，安装于所述腔室部，使所述腔室部的内部压力保持固定；以及检测部，安装于所述腔室部，并且检测所述腔室部的内部状态和所述基板的状态。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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