恭喜应用材料公司克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利基板处理模块及移动工件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115768920B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180045093.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权基板处理模块及移动工件的方法是由克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚;斯里尼瓦萨·拉奥·耶德拉;托马斯·布里泽哲科设计研发完成，并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理模块及移动工件的方法在说明书摘要公布了：本文中所公开的实施方式包括基板处理模块及移动工件的方法。基板处理模块包括遮件堆叠及两个处理站。遮件堆叠设置在处理站之间。移动工件的方法包括以下步骤：在第一方向上将支撑部分从第一位置移动到遮件堆叠，从遮件堆叠取回工件，及将支撑部分移动至第二位置。传输腔室组件及方法允许将工件移动至遮件堆叠及将工件从遮件堆叠移动到两个处理站。基板处理模块的中心传输机器人被配置为抓取基板及遮挡盘两者，从而在一般会需要两个机器人的时候允许使用一个机器人。
本发明授权基板处理模块及移动工件的方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理模块，包括：遮挡盘堆叠，所述遮挡盘堆叠被配置为储存一个或多个工件，所述一个或多个工件包括基板或遮挡盘中的一者或多者，所述遮挡盘堆叠包括：堆叠基部；一个或多个遮挡盘支撑件，所述一个或多个遮挡盘支撑件耦接到所述堆叠基部，所述一个或多个遮挡盘支撑件中的每一者被配置为支撑遮挡盘；及基板支撑件，所述基板支撑件耦接到所述堆叠基部，所述基板支撑件被配置为支撑基板；及两个处理站，所述遮挡盘堆叠设置在所述处理站之间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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