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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利两种不同材料同时选择性沉积在两个不同表面上获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113463069B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110338805.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权两种不同材料同时选择性沉积在两个不同表面上是由M.E.吉文斯;E.托伊斯;S.豪卡;D.内夫斯特鲁瓦;C.德扎拉设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本两种不同材料同时选择性沉积在两个不同表面上在说明书摘要公布了：在一些实施例中，提供了使用相同反应化学物质同时且选择性地将第一材料沉积在衬底的第一表面上和将第二不同材料沉积在同一衬底的第二不同表面上的方法。例如，第一材料可选择性地沉积在金属表面上，而第二材料同时且选择性地沉积在相邻的介电表面上。所述第一材料和所述第二材料具有不同的材料特性，如不同蚀刻速率。

本发明授权两种不同材料同时选择性沉积在两个不同表面上在权利要求书中公布了：1.一种选择性地将第一材料沉积在衬底的第一表面上和将不同于第一材料的第二材料沉积到所述衬底的不同于第一表面的第二表面上的方法，所述方法包含一个或多个第一沉积循环，其包含：使所述衬底的所述第一表面和所述第二表面暴露于钝化剂，使得所述钝化剂相对于所述第二表面在所述第一表面上选择性地形成钝化层；使所述衬底的所述第一表面和所述第二表面暴露于第一金属或半金属反应物，使得所述第一金属或半金属反应物与所述第二表面反应，以形成包括来自第一金属或半金属反应物的金属或半金属的一层反应物品种，但是不与第一表面反应；以及使所述衬底的所述第一表面和所述第二表面暴露于第二金属或半金属反应物，使得第二金属或半金属反应物穿过第一表面上的钝化层，以与第一和第二表面反应，以在第一表面上形成第一材料且在第二表面上形成第二材料，由此，包含来自所述第一金属或半金属反应物的第一金属或半金属以及来自所述第二金属或半金属反应物的第二金属或半金属的第二材料形成于所述第二表面上而不在所述第一表面上，并且其中包含来自所述第二金属或半金属反应物的所述第二金属或半金属的第一材料形成于所述第一表面上而不在所述第二表面上。

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