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龙图腾网恭喜东莞思沃智能装备有限公司申请的专利晶圆贴膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111739821B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010586737.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆贴膜机是由程彦;张成宣;胡丽兰设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆贴膜机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆贴膜机，包括工作台、贴膜台、压膜装置、压膜滑动驱动机构、剥膜装置、剥膜滑动驱动机构、放膜装置、收卷膜装置、送料装置，以及切膜装置。送料装置将晶圆输送至贴膜台上，放膜装置将保护膜输送至压膜台的上方，压膜滑动驱动机构带动压膜装置滑动至贴膜台的上方，压膜压膜装置将保护膜压紧于晶圆的表面，使得保护膜贴附于晶圆上。然后切膜装置动作，对晶圆的边缘处的保护膜进行切割，将未与晶圆粘接的保护膜切出形成废膜，此时废膜任粘接于贴膜台的暴露位置，然后剥膜装置将废膜夹住，剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动的过程中，将废膜从贴膜台上拉离，剥膜装置解除对废膜的夹紧，收卷膜装置将废膜收卷，完成贴膜。

本发明授权晶圆贴膜机在权利要求书中公布了：1.晶圆贴膜机，其特征在于，包括工作台、安装于所述工作台的贴膜台、滑动安装于所述工作台的压膜装置、用于驱动所述压膜装置滑动的压膜滑动驱动机构、滑动安装于所述工作台且与所述压膜装置相对设置的剥膜装置、用于驱动所述剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构、位于所述压膜装置远离所述剥膜装置的一侧的放膜装置、位于所述剥膜装置远离所述压膜装置的一侧的收卷膜装置、用于向所述贴膜台输送晶圆的送料装置，以及用于对晶圆的边缘的膜进行切割的切膜装置，所述切膜装置包括切割升降模组、安装于所述切割升降模组的输出端的切割升降座、转动安装于所述切割升降座的电滑环、用于驱动所述电滑环转动的切割转动驱动机构、安装于所述电滑环的切割连接座，以及安装于所述切割连接座的切割模组，所述剥膜装置包括滑动安装于所述工作台的剥膜支架、转动安装于所述剥膜支架的剥膜辊、安装于所述剥膜支架的剥膜气缸，以及安装于所述剥膜气缸的活塞杆且与所述剥膜辊相配合的夹紧件；所述夹紧件包括安装于所述剥膜气缸的活塞杆的剥膜连接板，以及安装于所述剥膜连接板的两个夹紧辊；所述剥膜连接板与所述剥膜辊相互平行，所述夹紧辊与所述剥膜辊相互平行；两个所述夹紧辊分别位于所述剥膜连接板的相对的两端，所述压膜装置包括滑动安装于所述工作台的压膜支架、滑动安装于所述压膜支架的压膜升降架、用于驱动所述压膜升降架滑动的压膜升降气缸，以及转动安装于所述压膜升降架的压膜压辊；所述压膜升降架与所述压膜支架之间设有压膜压力传感器，所述收卷膜装置包括收卷膜立板、转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜辊、用于驱动所述收卷膜辊转动的收卷膜驱动机构、安装于所述收卷膜立板的收卷膜张紧机构，以及安装于所述收卷膜立板的静电风机；所述收卷膜张紧机构包括转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜张紧支架、转动安装于所述收卷膜张紧支架的多个收卷膜张紧辊，以及用于驱动所述收卷膜张紧支架转动的收卷膜张紧气缸；所述收卷膜张紧气缸与所述收卷膜张紧支架分别位于所述收卷膜立板的相对的两侧，所述放膜装置包括放膜立板、转动安装于所述放膜立板的放膜辊、用于驱动所述放膜辊转动的放膜驱动机构、转动安装于所述放膜立板的原料辊、安装于所述原料辊的第一放膜带轮、安装于所述放膜立板的电磁刹车片、安装于所述电磁刹车片上的第二放膜带轮，以及设于所述第一放膜带轮与所述第二放膜带轮之间的第一放膜传动带。

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