恭喜杰宜斯科技有限公司李昇勋获国家专利权
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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利蚀刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113614901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080016474.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权蚀刻装置是由李昇勋;牟圣元;李铸炯;奇范洙;朴成焕;赵显东设计研发完成，并于2020-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻装置在说明书摘要公布了：本发明关于蚀刻装置，其包括蚀刻腔室、开闭蚀刻腔室的开闭单元及选择性地约束开闭单元的锁定单元。
本发明授权蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，其包括：一蚀刻腔室，具备第一腔室及在所述第一腔室的上部能开闭地配备的第二腔室；一开闭单元，该开闭单元开闭该蚀刻腔室，并且具备第一约束部；及一锁定单元，该锁定单元选择性地约束该开闭单元，并且具备锁定驱动部以及第二约束部，所述第二约束部与所述锁定驱动部连接，当所述第一约束部移动时，所述第二约束部与所述第一约束部联动而约束所述开闭单元的移动，所述第一约束部和所述第二约束部位于所述第二腔室的下方。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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