恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司马砚忠获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利干涉系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119065144B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411578151.5,技术领域涉及:G02B27/62;该发明授权干涉系统是由马砚忠;孟鹏飞;皮林立;李希希;曹博设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本干涉系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种干涉系统,该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。第二调节组件包括物镜转动调节件,参考物镜连接于物镜转动调节件,物镜转动调节件具有至少两个调节层,相邻的调节层之间形成调节间隙,调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧,开口侧具有将相邻的调节层分离的开口,形变侧设有将相邻的调节层连接的形变部。形变部能够在外力作用下发生形变,以使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离,并带动参考物镜转动。通过形变部的受力形变使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离,以实现对参考物镜的转动自由度的调节。
本发明授权干涉系统在权利要求书中公布了:1.一种干涉系统,其特征在于,包括:基准座;测量物镜,所述测量物镜连接于所述基准座;分光棱镜,所述分光棱镜活动设置于基准座内;第一调节组件,所述第一调节组件用于带动所述分光棱镜直线运动,以调节所述分光棱镜的位置,和带动所述分光棱镜转动,以调节所述分光棱镜的朝向;参考物镜;第二调节组件,所述第二调节组件活动设置于所述基准座,所述第二调节组件包括物镜转动调节件,所述参考物镜连接于所述物镜转动调节件,所述物镜转动调节件具有至少两个调节层,相邻的所述调节层之间形成调节间隙,所述调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧,所述开口侧具有将相邻的所述调节层分离的开口,所述形变侧设有将相邻的所述调节层连接的形变部;所述形变部能够在外力作用下发生形变,以使相邻的所述调节层在所述开口侧相互靠近和远离,并带动所述参考物镜转动;反射镜安装座;参考反射镜,所述参考反射镜活动设置于所述反射镜安装座上,且与所述参考物镜相对设置;以及第三调节组件,所述第三调节组件用于带动所述参考反射镜直线运动,以调节所述参考反射镜的位置,和带动所述参考反射镜转动,以调节所述参考反射镜的朝向;第一轴线、第二轴线和第三轴线为空间内相互垂直的三条轴线,所述分光棱镜与所述测量物镜沿所述第一轴线排布,所述分光棱镜与所述参考物镜沿所述第二轴线排布;所述调节层包括沿所述第二轴线依次层叠设置的第一调节层、第二调节层和第三调节层,所述第一调节层和所述第二调节层之间的调节间隙为第一调节间隙,所述第二调节层和所述第三调节层之间的调节间隙为第二调节间隙;所述第一调节间隙的开口侧和形变侧沿所述第三轴线排布,所述第一调节层和所述第二调节层在所述第一调节间隙的开口侧相互靠近和远离时,带动所述参考物镜围绕所述第一轴线转动;所述第二调节间隙的开口侧和形变侧沿所述第一轴线排布,所述第二调节层和所述第三调节层在所述第二调节间隙的开口侧相互靠近和远离时,带动所述参考物镜围绕所述第三轴线转动。
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