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恭喜浙江日月光能科技有限公司董志民获国家专利权

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龙图腾网恭喜浙江日月光能科技有限公司申请的专利一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222600938U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421811130.9,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构是由董志民;陆银川;黄浩;郭拥晋设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构,涉及石英舟技术领域,包括石英舟本体,所述石英舟本体的两端设置有面板,两个所述面板之间四角设置有四个支撑柱,所述支撑柱的侧面均匀分布有多个菱形齿,两个所述菱形齿之间开设有菱形底端,所述菱形齿的侧面对称设置有菱形尖端,所述菱形齿的一端设置有菱形顶端。本实用新型通过避免使用挡片,降低了生成成本,并且利用菱形底部可增加扩散时卡槽和硅片间气流接触面积,减少卡点印产生,同时减少石英舟重量便于搬运,通过将格栅板设置在石英舟本体的内侧,气体均流板分布在格栅板上,格栅板和气体均流板上分别开设有第一通孔和第二通孔,使硼扩散气体在进入石英舟后能够更加均匀地分布。

本实用新型一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构在权利要求书中公布了:1.一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构,包括石英舟本体(1),其特征在于:所述石英舟本体(1)的两端设置有面板(3),两个所述面板(3)之间四角设置有四个支撑柱(4),所述支撑柱(4)的侧面均匀分布有多个菱形齿(5),两个所述菱形齿(5)之间开设有菱形底端(6),所述菱形齿(5)的侧面对称设置有菱形尖端(7),所述菱形齿(5)的一端设置有菱形顶端(8)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江日月光能科技有限公司,其通讯地址为:312000 浙江省绍兴市柯桥区马鞍街道越江路以南A区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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