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龙图腾网恭喜先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于半导体加工设备的隔膜阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222596846U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421462856.6，技术领域涉及：F16K7/12；该实用新型适用于半导体加工设备的隔膜阀是由王铭志;杨万;郑振祥设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于半导体加工设备的隔膜阀在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于半导体加工设备的隔膜阀，包括有阀本体，阀本体上设置有流入通道与流出通道，阀本体内设置有容纳腔，容纳腔的底部设置有与流入通道、流出通道导通的控制腔，控制腔内设置有隔膜组件，隔膜组件上设置有膜片组件，膜片组件上连接有从动轴组件，从动轴组件上螺纹连接有主动轴组件，隔膜组件的外围设置有限位组件，膜片组件的外侧与限位组件相连，主动轴组件的上端设置有旋钮组件。由此，可通过主动轴组件的上下精确位移来实现最终隔膜组件的导通两控制，能满足手动转动旋钮组件的便捷化控制。通过膜片组件的适度形变来带动隔膜组件进行位移，实现必要的缓冲释放，且满足高精度的线性调节。

本实用新型适用于半导体加工设备的隔膜阀在权利要求书中公布了：1.适用于半导体加工设备的隔膜阀，包括有阀本体，所述阀本体上设置有流入通道与流出通道，其特征在于：所述阀本体内设置有容纳腔，所述容纳腔的底部设置有与流入通道、流出通道导通的控制腔，所述控制腔内设置有隔膜组件，所述隔膜组件上设置有膜片组件，所述膜片组件上连接有从动轴组件，所述从动轴组件上螺纹连接有主动轴组件，所述隔膜组件的外围设置有限位组件，所述膜片组件的外侧与限位组件相连，所述主动轴组件的上端设置有旋钮组件；所述限位组件包括有下行程限位环，所述下行程限位环上堆叠有上行程限位环，所述膜片组件分别穿过下行程限位环、上行程限位环，所述膜片组件的外侧，被下行程限位环、上行程限位环锁夹持限位；所述上行程限位环中设置有非圆通孔，所述从动轴组件的下端设置有嵌设平面，所述嵌设平面嵌入非圆通孔中，所述主动轴组件进行顺时针旋转时，所述从动轴组件向下运动，所述主动轴组件进行逆时针旋转时，所述从动轴组件向上运动。

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