上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司施钦天获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600943U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420669579.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传输装置是由施钦天;刘大威;徐铭;崔佳伟设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
本实用新型一种晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：R轴直驱电机模组2，设于一固定底座1上；Z轴直线模组3，通过Z轴直线模组固定框架31设于所述R轴直驱电机模组2上；X轴直线模组4，通过X轴直线模组固定框架41设于所述Z轴直线模组3上；片叉单元5，设于所述X轴直线模组4上，所述片叉单元5内设有多个用于承托晶圆61的片叉52，各相邻所述片叉52之间相距设定的距离；所述X轴直线模组4驱动所述片叉单元5做X轴方向的移动，所述Z轴直线模组3驱动所述X轴直线模组4和所述片叉单元5做Z轴方向的移动，所述R轴直驱电机模组2驱动所述Z轴直线模组3、所述X轴直线模组4和所述片叉单元5做R轴的旋转运动。
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