江苏实为半导体科技有限公司丁海登获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏实为半导体科技有限公司申请的专利一种CVD加热盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222602598U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420664133.8,技术领域涉及:H05B3/02;该实用新型一种CVD加热盘是由丁海登;黎静设计研发完成,并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD加热盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种CVD加热盘,包括加热盘本体、加热组件和防护壳体,所述加热盘本体包括下板,所述下板上安装有中间板,所述中间板上安装有上板,所述中间板上开设有电热管安装槽,所述上板上开设有热电偶安装槽,所述加热组件包括电热管和热电偶,所述电热管安装于电热管安装槽内,所述电热管的两端一体成型有输入端,所述热电偶设置有一对,一对所述热电偶的上端均安装于热电偶安装槽内,所述防护壳体设置于下板的下方。本实用新型通过加热盘本体采用分层设计,使得热电偶与加热管分别位于不同的金属层,两者不存在相互联通的结构,保证热电偶反馈温度更接近加热盘实际温度。
本实用新型一种CVD加热盘在权利要求书中公布了:1.一种CVD加热盘,其特征在于,包括:加热盘本体,所述加热盘本体包括下板,所述下板上安装有中间板,所述中间板上安装有上板,所述中间板上开设有电热管安装槽,所述上板上开设有热电偶安装槽;加热组件,所述加热组件包括电热管和热电偶,所述电热管安装于电热管安装槽内,所述电热管的两端一体成型有输入端,所述热电偶设置有一对,一对所述热电偶的上端均安装于热电偶安装槽内;防护壳体,所述防护壳体设置于下板的下方。
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