恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司严大获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利载具的套管及载具、镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222594002U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420392676.9，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型载具的套管及载具、镀膜设备是由严大;张胜;李挺;廖宝臣;王亨;张良俊设计研发完成，并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本载具的套管及载具、镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种载具的套管及载具、镀膜设备，其中，载具的套管包括绝缘筒体，绝缘筒体的外壁部沿周向设有槽结构，槽结构的轴向截面包括至少两条槽段，各槽段沿绝缘筒体的径向方向并列布置并依次首尾连通。通过槽结构的设置，能够有效降低在套管表面沿爬电路径形成连续多晶硅层的概率，进而减少相邻两个舟片之间发生短路的情况，提高该套管及舟片的使用寿命，提升基片的产品良率。
本实用新型载具的套管及载具、镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种载具的套管，其特征在于，包括绝缘筒体10，所述绝缘筒体10的外壁部沿周向设有槽结构1，所述槽结构1的轴向截面包括至少两条槽段11，各所述槽段11沿所述绝缘筒体10的径向方向并列布置并依次首尾连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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