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龙图腾网恭喜天津市澳玛科技开发有限公司;陈津申请的专利一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114199140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111468656.2，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置是由陈津;陈炎楷设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置，其测量方法包括：步骤一：在载物云台上放置标准量块，使标准量块顶面与光学镜头的焦点重合，此时第一次清零光电测距传感器度数；步骤二：调整载物云台上升标准量块厚度，此时第二次清零光电测距传感器度数；步骤三：光学镜头的焦点与光电测距传感器的零点重合；步骤四：使载物云台上的待测物体顶面与光学镜头的焦点重合，并读取取光电测距传感器度数获取待测物体在Z轴方向厚度的绝对值。本发明可在狭小空间内检测Z轴方向物体厚度的绝对值，其精度可达到显微纳米级别，检测效率及检测精度明显优于现有技术。

本发明授权一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置在权利要求书中公布了：1.一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：首先在载物云台的检测孔上水平放置标准量块，保证标准量块的顶面由光学镜头照射，标准量块的底面由光电测距传感器照射，而后升降调整载物云台，使光学镜头可采集到最佳图像的焦点与标准量块的顶面重合；该焦点与标准量块顶面的重合定位信息由光电测量系统采集光学镜头图像，并最终计算确定；此时将光电测距传感器的读数清零；步骤二：调整载物云台上升，该载物云台上升动作的起点为光电测距传感器经步骤一清零后的零点，且整载物云台的上升数值为标准量块已知的厚度值，并确保该已知的厚度值与光电测距传感器上的读数吻合；而后再次将光电测距传感器的读数清零；步骤三：经过步骤一及步骤二对测量装置进行标定，使光学镜头的焦点与光电测距传感器的零点重合；步骤四：取下载物云台上的标准量块，并在载物云台的检测孔上放置待测物体，而后升降调整载物云台高度，使待测物体的顶面与光学镜头的焦点重合，此时读取光电测距传感器上的读数即可得到待测物体在Z轴方向厚度的绝对值；所述测量方法中采用的测量装置，包括显微支架，该显微支架的下部垂向限位并水平调节连接有传感器云台，显微支架的中部升降调节连接有载物云台，显微支架的顶部垂向固设有光学镜头；所述传感器云台的顶面上固设有光电测距传感器；所述载物云台的中部垂向穿透制出有检测孔；所述光学镜头、光电测距传感器及检测孔同轴设置。

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