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龙图腾网恭喜中国空间技术研究院申请的专利超导单光子探测结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113937115B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010667683.1，技术领域涉及：H10F39/18；该发明授权超导单光子探测结构及其制备方法是由张恒彬;谢军;肖林;彭超设计研发完成，并于2020-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本超导单光子探测结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及单光子探测技术领域，提供一种超导单光子探测结构及其制备方法。该结构包括：多个探测单元、传输馈线、电源线、第一共面波导、第二共面波导和第三共面波导；多个探测单元通过电源线分隔形成谐振器阵列，电源线与每个探测单元的地端均连接；每个探测单元均包括蛇形结构的纳米线和交指电容；根据交指电容的长度确定对应探测单元的谐振频率；传输馈线，与每个探测单元耦合，用于谐振器阵列的频域读出；第一共面波导与电源线的第一端连接，第二共面波导与传输馈线的第二端连接，第三共面波导与传输馈线的第一端连接。本发明增加了每个谐振器的谐振频率范围，同时提高谐振器的共振频率，简化读出电路的复杂度，实用性强。

本发明授权超导单光子探测结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种超导单光子探测结构，其特征在于，包括：多个探测单元、传输馈线、电源线、第一共面波导、第二共面波导和第三共面波导；所述多个探测单元通过所述电源线分隔形成谐振器阵列，所述电源线与每个所述探测单元的地端均连接；每个所述探测单元均包括：蛇形结构的纳米线和交指电容；其中，根据所述交指电容的长度确定对应的所述探测单元的谐振频率；所述传输馈线，与每个所述探测单元耦合，用于所述谐振器阵列的频域读出；所述第一共面波导与所述电源线的第一端连接，所述电源线的第二端接地；所述第二共面波导与所述传输馈线的第二端连接，所述第三共面波导与所述传输馈线的第一端连接；所述电源线的两端还与外部恒流源连接，使当前超导单光子探测结构处于单光子模式；所述电源线的两端断开与所述外部恒流源的连接，使当前所述超导单光子探测结构处于光子数分辨模式；所述纳米线的厚度为5nm~5µm；所述纳米线的宽度为50nm~5µm；所述纳米线的总长度根据对应的所述探测单元的谐振频率确定；所述交指电容的宽度为对应的所述纳米线的宽度的预设倍数，使对应的所述探测单元的光敏区域为所述纳米线；相邻谐振频率的所述探测单元的空间间隔不小于预设距离；所述预设距离用于避免相邻谐振频率的所述探测单元之间的耦合效应。

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