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恭喜中国科学院高能物理研究所闫保军获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院高能物理研究所申请的专利一种二次电子发射性能参数测试装置及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111077176B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010013951.8,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权一种二次电子发射性能参数测试装置及测试方法是由闫保军;刘术林;温凯乐;王玉漫;张斌婷;谷建雨设计研发完成,并于2020-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种二次电子发射性能参数测试装置及测试方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二次电子发射性能参数测试装置及测试方法。本装置包括球形电子收集器,其由外向内依次是:球形收集极、球形抑制极和球形接地极;球形电子收集器固定在真空室内的电子收集器固定装置上,其上方设有入射电子孔,电子枪口由入射电子孔进入球形电子收集器内部,球形电子收集器的下方设有样品台进出孔;样品台升降旋转装置,包括安装在真空室外的磁流体控制器、真空室内的螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构,样品台与齿轮旋转机构连接,样品台从球形电子收集器下方开孔处进入其内部;磁流体控制器通过螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构驱动样品台上下移动及旋转;样品台一面用于放置待测样品,另一面上固定一次电子收集器。

本发明授权一种二次电子发射性能参数测试装置及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种二次电子发射性能参数测试装置,其特征在于,包括电子束产生系统,通过法兰接口与真空室连接,包括真空室内的电子枪及真空室外的电子枪控制器;球形电子收集器,包括三种彼此绝缘的球形结构,由外向内依次是:球形收集极、球形抑制极和球形接地极;球形电子收集器固定在真空室内的电子收集器固定装置上,其上方开孔作为入射电子孔,电子枪口由该入射电子孔进入球形电子收集器内部,球形电子收集器的下方开孔作为样品台进出孔;微弱信号测量系统,包括分别与球形收集极、球形抑制极、球形接地极和样品台连接的电流计或电流-电压放大器,用于采集球形收集极、球形抑制极、球形接地极和样品台的电流;样品台升降旋转装置,包括安装在真空室外的磁流体控制器、真空室内的螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构,样品台与齿轮旋转机构连接,样品台从球形电子收集器下方开孔处进入其内部;磁流体控制器通过螺杆传动机构及与之连接的齿轮旋转机构驱动样品台上下移动及旋转;样品台一面用于放置待测样品,另一面上固定一次电子收集器;样品表面电位中和系统,包括表面电位检测装置、消除表面带正电位装置和消除表面带负电位装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院高能物理研究所,其通讯地址为:100049 北京市石景山区玉泉路19号乙;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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