买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜普乐新能源(蚌埠)有限公司申请的专利LPCVD和ALD两用布气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112410758B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910774024.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权LPCVD和ALD两用布气装置是由王杨阳;杨陆晗;王红美;彭为报;孙嵩泉设计研发完成，并于2019-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本LPCVD和ALD两用布气装置在说明书摘要公布了：LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。

本发明授权LPCVD和ALD两用布气装置在权利要求书中公布了：1.LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板；任意一个所述的布气法兰形状为圆形，所述的布气法兰的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿布气法兰轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与布气法兰周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，每个所述的挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，布气法兰周向外侧设有若干气孔，气孔在布气法兰外侧沿布气法兰周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通；所述的布气法兰内设有一个沿布气法兰周向布置的环形水道，所述的环形水道内设有一个与环形水道相匹配的隔板，布气法兰周向外侧位置上对应环形水道中隔板的两侧处分别设有一个连通环形水道的通道；所述的布气法兰至少一个轴向侧面上设有沿布气法兰周向布置的第二环形槽，所述的第二环形槽的开口处为收口结构；所述的柱塞与通孔为螺纹配合；相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人普乐新能源(蚌埠)有限公司，其通讯地址为：233030 安徽省蚌埠市汤和路268号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。