恭喜TOTO株式会社籾山大获国家专利权
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龙图腾网恭喜TOTO株式会社申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110783251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910644993.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘是由籾山大;佐佐木均设计研发完成，并于2019-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电吸盘，其能够在提高RF敏感性的同时提高等离子体密度的面内均匀性。具体而言，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面及所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及至少一个第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部，连接于高频电源，其特征为，在从基座板朝向陶瓷电介体基板的Z轴方向上，第1电极层设置在第1主面与第2主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面及第1面相反侧的第2面，第2面的表面粗糙度大于第1面的表面粗糙度。
本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面及所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板；及至少一个第1电极层，设置在所述陶瓷电介体基板的内部，连接于高频电源，其特征为，在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的Z轴方向上，所述第1电极层设置在所述第1主面与所述第2主面之间，所述第1电极层具有所述第1主面侧的第1面及所述第1面相反侧的第2面，所述第2面的表面粗糙度大于所述第1面的表面粗糙度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人TOTO株式会社，其通讯地址为：日本福冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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