捷捷微电(南通)科技有限公司方有乐获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种氧分析仪保护装置及晶圆退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222616604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421500158.0，技术领域涉及：F17D3/01；该实用新型一种氧分析仪保护装置及晶圆退火设备是由方有乐;吴胜荣;程毅敏;高敬先设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧分析仪保护装置及晶圆退火设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种氧分析仪保护装置及晶圆退火设备，涉及半导体制备技术领域。氧分析仪保护装置应用于氧分析仪，氧分析仪与晶圆退火腔体通过气体采样管连接。氧分析仪保护装置包括氮气管路以及阀门机构。阀门机构包括第一阀门以及第二阀门，第一阀门设置于气体采样管上，第二阀门设置于氮气管路上。氮气管路与气体采样管连通，且氮气管路与气体采样管的管路连接处位于第一阀门与氧分析仪之间。本实用新型可以有效地保护氧分析仪，并延长氧分析仪的使用寿命。
本实用新型一种氧分析仪保护装置及晶圆退火设备在权利要求书中公布了：1.一种氧分析仪保护装置，其特征在于，应用于氧分析仪，所述氧分析仪与晶圆退火腔体通过气体采样管连接；所述氧分析仪保护装置包括氮气管路以及阀门机构；所述阀门机构包括第一阀门以及第二阀门，所述第一阀门设置于所述气体采样管上，所述第二阀门设置于所述氮气管路上；所述氮气管路与所述气体采样管连通，且所述氮气管路与所述气体采样管的管路连接处位于所述第一阀门与所述氧分析仪之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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