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龙图腾网获悉东莞方泰新材料技术有限公司申请的专利一种静电式微孔陶瓷真空吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619727U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420651915.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种静电式微孔陶瓷真空吸盘是由张术生;李晖;靳旺旺;胡玲莉设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电式微孔陶瓷真空吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及静电吸盘领域，尤其涉及一种静电式微孔陶瓷真空吸盘。技术问题：在半导体芯片的制造过程中，生产设备需要频繁操控静电式微孔陶瓷真空吸盘以吸附半导体芯片，但陶瓷材料本身比较脆弱，容易在受到冲击或压力时出现裂纹，导致吸盘受损。技术方案：一种静电式微孔陶瓷真空吸盘，包括有吸附组件、支护组件、均布载荷组件。本实用新型通过设置双重均布载荷机构和减震缓冲机构，让设备在运转的过程中，可以使吸盘上端的受力更加均匀，同时使吸盘的下端也受到受力更加均匀的托举，并在吸盘位移时对吸盘进行缓冲和减震，以降低吸盘出现裂纹的概率。

本实用新型一种静电式微孔陶瓷真空吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电式微孔陶瓷真空吸盘，包括有吸附组件（1）；其特征在于：还包括有支护组件（2）、均布载荷组件（3）；吸附组件（1）下端设置有保护吸盘的支护组件（2）；支护组件（2）上端间隙配合有通过增加受力面积以使物体受力均匀的均布载荷组件（3）；吸附组件（1）包括有吸盘本体（101）、容纳腔（102）、斜边倒角（103）、第一曲面倒角（104）、电极片（105）、微孔结构（106）、真空泵连接口（107）；吸盘本体（101）内开设有容纳腔（102）；吸盘本体（101）的内壁开设有斜边倒角（103）；吸盘本体（101）的外壁开设有第一曲面倒角（104）；容纳腔（102）内固接有电极片（105）；吸盘本体（101）下端设置有微孔结构（106）；吸盘本体（101）上端开设有真空泵连接口（107）；支护组件（2）包括有托环（201）、第二曲面倒角（202）、曲形软垫（203）；吸盘本体（101）的下端设置有托环（201）；托环（201）内侧开设有第二曲面倒角（202）；第二曲面倒角（202）上粘贴有曲形软垫（203）；托环（201）的下端面高于吸盘本体（101）的底面；均布载荷组件（3）包括有安装盘（301）、容纳槽（302）、第二软垫（303）、均匀分布环（304）、减震器（305），限位环（306）、对接块（307）、连接罩（308）、滑槽（309）；托环（201）的上端间隙配合有安装盘（301）；安装盘（301）下端开设有容纳槽（302）；容纳槽（302）内固接有第二软垫（303）。

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