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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于沉积系统的高流量多通活塞/阀获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114686958B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210297617.9，技术领域涉及：C25D21/12；该发明授权用于沉积系统的高流量多通活塞/阀是由詹姆斯·艾萨克·福特纳;罗伯特·拉什;亚伦·贝尔克;冯敬斌设计研发完成，并于2019-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于沉积系统的高流量多通活塞/阀在说明书摘要公布了：与用于将膜沉积在晶片上的处理室一起使用的阀组件。阀主体围绕孔腔并包括入口、第一出口和第二出口，出口中的至少一者通向处理室内。活塞包括具有第一流动路径的第一区段和具有第二流动路径的第二区段。线性运动致动器适于与活塞耦合并控制活塞通过孔腔在第一位置和第二位置之间的线性运动。在第一位置中，活塞的第一区段与入口对齐，使得流体经由第一流动路径流至第一出口。在第二位置中，活塞的第二区段与入口对齐，使得流体经由第二流动路径流至第二出口。

本发明授权用于沉积系统的高流量多通活塞/阀在权利要求书中公布了：1.一种适合与用于将膜沉积在晶片上的处理室一起使用的阀组件，其包含：阀主体，其被构造成围绕与所述阀组件的中心轴共轴的孔腔，其中所述阀主体包括入口、多个出口，所述多个出口中的至少一者通向所述处理室内；活塞，其定位于所述阀主体的所述孔腔内且具有多个流动路径；活塞适配器，其构造成附接至所述活塞的基部，线性运动致动器，其适于与所述活塞耦合且构造成控制所述活塞穿过所述孔腔在多个位置之间的线性移动，其中所述活塞适配器被构造成附接至所述线性运动致动器，所述线性运动致动器的线性移动经过所述活塞适配器被转移至所述活塞，其中，在活塞被移动到的一个相应的位置处，流体通过一个或多个相应的流动路径从所述入口流向一个或多个出口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。