恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司杨清瑞获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利带沟槽的体声波谐振器、滤波器和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111342801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811560215.3，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权带沟槽的体声波谐振器、滤波器和电子设备是由杨清瑞;庞慰;张孟伦设计研发完成，并于2018-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本带沟槽的体声波谐振器、滤波器和电子设备在说明书摘要公布了：带沟槽的体声波谐振器、滤波器和电子设备。本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上侧；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述谐振器还包括至少一个沟槽，所述沟槽围绕所述有效区域延伸设置。所述沟槽可设置于所述压电层的下侧或者上侧；或者所述沟槽可设置于所述底电极的上侧或者下侧。本发明还涉及一种具有该谐振器的滤波器，一种具有上述滤波器或者谐振器的电子设备。
本发明授权带沟槽的体声波谐振器、滤波器和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上侧；顶电极；和压电层，设置在底电极上侧以及底电极与顶电极之间，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述谐振器还包括至少一个沟槽，所述至少一个沟槽设置在基底中且处于基底上侧以及围绕所述有效区域边缘延伸设置；且在底电极的非连接边，所述至少一个沟槽包括被所述底电极部分覆盖的沟槽；所述至少一个沟槽内填充有气体。
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