恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王之一获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119354064B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411903660.0,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法是由王之一;冯晓鹏;王建立;刘昌华;贾建禄设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法,测量系统包括可调谐激光器、二相色镜、色散透镜、针孔、光电二极管和调制器;可调谐激光器用于输出激光;调制器用于根据色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系计算可调谐激光器的波长调制函数,通过波长调制函数对可调谐激光器的输出波长进行非线性调制,使可调谐激光器的输出波长的变化速率与色散透镜的轴向分辨率相适应;二相色镜用于对光束进行反射和透射;色散透镜用于对光束进行色散,并聚焦到样品的不同位置;光电二极管用于接收经样品反射的各束反射光,并将光信号转换为电信号;针孔用于抑制离焦光。本发明能够提高测量精度和测量结果的稳定性。
本发明授权基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于波长调制的光谱共焦位移测量系统,其特征在于,包括可调谐激光器、二相色镜、色散透镜、针孔、光电二极管和调制器;其中,可调谐激光器用于输出激光;调制器用于根据色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系计算可调谐激光器的波长调制函数,通过波长调制函数对可调谐激光器的输出波长进行非线性调制,使可调谐激光器的输出波长的变化速率与色散透镜的轴向分辨率相适应;设色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系为: 其中,表示轴向聚焦位置,表示波长;调制器采用数值插值方法对式(1)进行反解,得到波长调制函数;调制器采用数值插值方法对式(1)进行反解,得到波长调制函数的具体过程为:对色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系进行离散化,构建离散化的波长-位移表;通过线性插值方法或样条插值方法,在给定时间t时,将色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系代入波长随时间变化的方程,计算对应的波长调制函数: (2);其中,表示色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系的逆函数;采用优化算法迭代更新求解出的波长调制函数,从而得到符合光谱共焦位移测量系统要求的波长调制函数;二相色镜设置在可调谐激光器的出光方向上,用于对光束进行反射和透射;色散透镜设置在二相色镜的反射方向上,用于对光束进行色散,并聚焦到样品的不同位置;光电二极管设置在二相色镜的反射方向上,用于接收经样品反射的各束反射光,并将光信号转换为电信号;针孔设置在光电二极管的入射方向且靠近光电二极管的位置,用于抑制离焦光。
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