恭喜电子科技大学马超获国家专利权
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龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119317184B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411833661.2,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法是由马超;齐钊;贾义睿;陈泓全;乔明;张波设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法在说明书摘要公布了:本发明提出一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法,属于电子科技与技术领域。所述器件包括:P型衬底,绝缘层,第一多晶硅栅区,第二多晶硅栅区,N型阱区,P型阱区,第一N+区,第一P+区,第二N+区,第二P+区,第一N型沟道区,P型沟道区,第二N型沟道区。在上述结构中,第一N+区和第一P+区通过导线互联形成器件的阳极,第二N+区和第二P+区通过导线互联形成器件的阴极。本发明在不增加器件面积的基础上,通过对传统SCR器件结构的改进,引入了NPN超结型沟道与多晶硅侧栅,增加了超结结构的NPN型符合沟道区域,由此可以实现SCR器件的可调节的电流分布与参数特性。
本发明授权一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法在权利要求书中公布了:1.一种用于ESD保护的可调式SCR器件,其特征在于,该器件包括:P型衬底(101),绝缘层(102),第一多晶硅栅区(103),第二多晶硅栅区(104),N型阱区(105),P型阱区(106),第一N+区(107),第一P+区(108),第二N+区(109),第二P+区(110),第一N型沟道区(111),P型沟道区(112),第二N型沟道区(113);第一N+区(107)和第一P+区(108)通过导线互联形成器件的阳极,第二N+区(109)和第二P+区(110)通过导线互联形成器件的阴极;绝缘层(102)位于P型衬底(101)的内部,绝缘层(102)下边缘高于P型衬底(101)的下边缘,绝缘层(102)上边缘低于P型衬底(101)的上边缘;N型阱区(105)和P型阱区(106)位于P型衬底(101)的内部,且位于绝缘层(102)的上方,N型阱区(105)下边缘和P型阱区(106)下边缘分别与绝缘层(102)的上边缘相切,N型阱区(105)上边缘和P型阱区(106)上边缘分别与P型衬底(101)的上边缘相切;其中,N型阱区(105)的相对位置在P型阱区(106)的左侧,N型阱区(105)的右边缘与P型阱区(106)的左边缘相距10um至50um;第一N+区(107)和第一P+区(108)位于N型阱区(105)的内部,第一N+区(107)上边缘和第一P+区(108)上边缘均与N型阱区(105)上边缘相切,第一N+区(107)下边缘和第一P+区(108)下边缘均高于N型阱区(105)下边缘;其中,第一N+区(107)的相对位置在第一P+区(108)的左侧,第一N+区(107)的右边缘与第一P+区(108)的左边缘间隔2um至5um;第二N+区(109)和第二P+区(110)位于P型阱区(106)的内部,第二N+区(109)上边缘和第二P+区(110)上边缘均与P型阱区(106)上边缘相切,第二N+区(109)下边缘和第二P+区(110)下边缘均高于P型阱区(106)下边缘;其中,第二N+区(109)的相对位置在第二P+区(110)的左侧,第二N+区(109)的右边缘与第二P+区(110)的左边缘间隔2um至5um;第一多晶硅栅区(103)和第二多晶硅栅区(104)位于P型衬底(101)的内部,且位于N型阱区(105)和P型阱区(106)的中间,第一多晶硅栅区(103)左边缘和第二多晶硅栅区(104)左边缘分别与N型阱区(105)的右边缘相切,第一多晶硅栅区(103)右边缘和第二多晶硅栅区(104)右边缘均与P型阱区(106)的左边缘相切,第一多晶硅栅区(103)的上边缘和第二多晶硅栅区(104)的上边缘均与P型衬底(101)的上边缘相切,第一多晶硅栅区(103)的下边缘和第二多晶硅栅区(104)的下边缘均与绝缘层(102)的上边缘相切;第一多晶硅栅区(103)的相对位置在第二多晶硅栅区(104)的前面,两者之间相距5um至30um;第一N型沟道区(111),P型沟道区(112)和第二N型沟道区(113)在P型衬底(101)的内部,且位于第一多晶硅栅区(103)和第二多晶硅栅区(104)的中间;第一N型沟道区(111),P型沟道区(112)和第二N型沟道区(113)从前往后的相对位置依次是第一N型沟道区(111),P型沟道区(112)和第二N型沟道区(113);第一N型沟道区(111)的左边缘、P型沟道区(112)的左边缘和第二N型沟道区(113)的左边缘分别与N型阱区(105)的右边缘相切,第一N型沟道区(111)的右边缘、P型沟道区(112)的右边缘和第二N型沟道区(113)的右边缘均与P型阱区(106)的左边缘相切,第一N型沟道区(111)的上边缘、P型沟道区(112)的上边缘和第二N型沟道区(113)的上边缘与P型衬底(101)的上边缘相切,第一N型沟道区(111)的下边缘、P型沟道区(112)的下边缘和第二N型沟道区(113)的下边缘均与绝缘层(102)的上边缘相切;第一多晶硅栅区(103)和第二多晶硅栅区(104)为器件的栅极;第一多晶硅栅区(103)为Gate1,第二多晶硅栅区(104)为Gate2。
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