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龙图腾网恭喜上海车仪田科技有限公司申请的专利一种连续变焦激光干涉终点检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119230435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411764812.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种连续变焦激光干涉终点检测系统是由张南南;张黎明;钟辉;郭军涛;唐凯;黄兴玉设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种连续变焦激光干涉终点检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种连续变焦激光干涉终点检测系统，用于半导体刻蚀和薄膜工艺终点检测，包括：照明模块、激光干涉模块和成像模块；激光干涉模块包括激光器、分光片、分束立方、镜头和探测器，所述激光器发出的激光光束通过分光片、分束立方和镜头后聚焦至晶圆表面的待检测区域，晶圆表面将所述激光反射至所述探测器进行检测；所述镜头的焦距连续可调；所述照明模块包括光源，设置于所述镜头的一侧，所述光源发出的照明光束用于照亮晶圆表面的待检测区域；所述成像模块包括相机，设置于所述镜头的一侧，用于记录并输出晶圆表面待检测区域的图像信息。本发明通过镜头的连续变焦和大数值孔径实现了长工作距的高清成像与刻蚀、薄膜工艺终点的精准检测。

本发明授权一种连续变焦激光干涉终点检测系统在权利要求书中公布了：1.一种连续变焦激光干涉终点检测系统，其特征在于，用于半导体刻蚀和薄膜工艺终点检测，包括：照明模块、激光干涉模块和成像模块；所述激光干涉模块包括激光器、分光片、分束立方、镜头和探测器，所述激光器发出的激光光束通过分光片、分束立方和镜头后聚焦至晶圆表面的待检测区域，晶圆表面将所述激光反射至所述探测器进行检测；所述镜头的焦距可调，且所述镜头的焦距范围为60-152mm、检测系统工作距360-800mm、数值孔径范围为0.01~0.05、入瞳直径为30mm；所述照明模块包括光源，设置于所述分束立方的一侧，沿垂直所述镜头光轴的方向远离所述镜头的光轴，所述光源发出的照明光束用于照亮晶圆表面的待检测区域；所述成像模块设置于所述分束立方远离所述镜头的一侧，用于记录并输出晶圆表面待检测区域的图像信息；在工作状态中，调节所述镜头的焦距，以对不同工作距的晶圆进行检测，晶圆表面的待检测区域将激光光束反射至所述成像模块，所述成像模块记录并输出图像信息。

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