复远芯(上海)科技有限公司丹尼尔·伊柳塔·拉帕达图获国家专利权
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龙图腾网获悉复远芯(上海)科技有限公司申请的专利压电谐振式压力传感器及补偿系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222635652U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421473935.7，技术领域涉及：G01L1/16；该实用新型压电谐振式压力传感器及补偿系统是由丹尼尔·伊柳塔·拉帕达图;吴志鹏设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电谐振式压力传感器及补偿系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种压电谐振式压力传感器及补偿系统，涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造技术领域。压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振组件以及压力敏感组件。谐振组件设有谐振腔。压力敏感组件设于谐振组件背离压电组件的一侧，压力敏感组件中的压力敏感薄膜、第一氧化层与谐振衬底配合形成压力腔，压力腔的开口背离谐振组件，压力腔用于接收待检测压力。其中，压力敏感组件封闭谐振腔的开口，沿谐振组件朝向压力敏感组件的方向，至少部分谐振腔的投影落入压力腔的投影范围内。根据本申请示例提供的压电谐振式压力传感器，可以扩大压电谐振式压力传感器测量压力的范围，进而扩大压电谐振式压力传感器的使用范围。
本实用新型压电谐振式压力传感器及补偿系统在权利要求书中公布了：1.一种压电谐振式压力传感器，应用于电子核心产业，其特征在于，包括：压电组件，直接或间接地与外接电路连接；谐振组件，背离所述压电组件的一侧设有谐振腔，所述谐振腔的开口背离所述压电组件设置；压力敏感组件，设于所述谐振组件背离所述压电组件的一侧，所述压力敏感组件包括压力敏感薄膜、埋氧层以及谐振衬底，所述埋氧层设于所述压力敏感薄膜与所述谐振衬底之间，所述压力敏感薄膜、埋氧层以及谐振衬底配合形成压力腔，所述压力腔的开口背离所述谐振组件设置，所述压力腔用于接收待检测压力；其中，所述压力敏感组件封闭所述谐振腔的开口，沿所述谐振组件朝向所述压力敏感组件的方向，至少部分所述谐振腔的投影落入所述压力腔的投影范围内。
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