北京燕东微电子科技有限公司杨文林获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222631535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420608951.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型溅射设备是由杨文林;杨立争;陈杰设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种溅射设备，能够改善晶圆表面的累温现象，提升产品品质。该溅射设备，包括：溅射腔室，溅射腔室包括：设有上开口的腔体以及盖设在上开口的顶盖；腔体与顶盖能够围成用于收容晶圆的收容空间，腔体开设有流道，流道用于灌注流体，以通过流体对收容空间进行冷却；第一接头及第二接头，第一接头及第二接头分别与腔体连接，且第一接头及第二接头分别与流道连通；供流装置，供流装置通过管路与第一接头连接，以向流道提供流体；供流装置还通过管路与第二接头连接，以接收在流道中与收容空间热交换后的流体。
本实用新型溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种溅射设备，其特征在于，包括：溅射腔室，所述溅射腔室包括：设有上开口的腔体以及盖设在所述上开口的顶盖，所述腔体与所述顶盖能够围成用于收容晶圆的收容空间，所述腔体开设有流道，所述流道用于灌注流体，以通过所述流体对所述收容空间进行冷却；第一接头及第二接头，所述第一接头及第二接头分别与所述腔体连接，且所述第一接头及第二接头分别与所述流道连通；供流装置，所述供流装置通过管路与所述第一接头连接，以向所述流道提供流体；所述供流装置还通过管路与所述第二接头连接，以接收在所述流道中与所述收容空间热交换后的流体。
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