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龙图腾网获悉上海致领半导体科技发展有限公司申请的专利一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统、抛光设备及抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117961778B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410314144.8，技术领域涉及：B24B55/03；该发明授权一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统、抛光设备及抛光系统是由王永成设计研发完成，并于2024-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统、抛光设备及抛光系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统、抛光设备及抛光系统，冷却系统包括主体单元、储液单元、第一冷却单元、第二冷却单元、第三冷却单元和电控单元。其优点在于，通过在抛光盘上设置第一冷却单元并将第一冷却单元与储液单元连接，从而可对抛光盘进行冷却作业，从而防止抛光盘在作业的情况下温度过高从而影响抛光精度；通过在储液单元与抛光设备连通的管路上设置第二冷却单元，使得第二冷却单元可对管路内的抛光液进一步冷却；通过在抛光设备上设置第三冷却单元，通过压缩空气对抛光垫进行风冷，可保证抛光设备作业的抛光精度。

本发明授权一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统、抛光设备及抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种用于重型碳化硅晶片加工的冷却系统，其特征在于，包括：主体单元，所述主体单元用于安装零部件；储液单元，所述储液单元设置于所述主体单元，用于存储抛光液和冷却液；第一冷却单元，所述第一冷却单元设置于抛光设备的抛光盘，并与所述储液单元连通，用于对抛光盘进行冷却；第二冷却单元，所述第二冷却单元设置于所述储液单元与抛光设备的连通的管路，并与所述储液单元连通，用于对抛光液进行冷却；第三冷却单元，所述第三冷却单元设置于抛光设备，并与空气压缩机连通，用于对安装在抛光盘上的抛光垫进行冷却；电控单元，所述电控单元设置于所述主体单元，并分别与所述第一冷却单元、所述第二冷却单元和所述第三冷却单元连接，用于控制所述第一冷却单元、所述第二冷却单元和所述第三冷却单元；其中，所述储液单元包括：第一储液元件，所述第一储液元件设置于所述主体单元，与所述第二冷却单元连通，用于存储抛光液以及向所述第二冷却单元供应抛光液；第二储液元件，所述第二储液元件设置于所述主体单元，与所述第一冷却单元连通，用于存储冷却液以及向所述第一冷却单元供应冷却液；第二泵体元件，所述第二泵体元件设置于所述第二储液元件的内部，并与所述第一冷却单元连通，用于泵送冷却液；第一连通管路元件，所述第一连通管路元件的第一端与所述第二泵体元件连通；第一冷却盘管元件，所述第一冷却盘管元件盘绕设置在所述第一储液元件的侧壁处，且所述第一冷却盘管元件的第一端与所述第一连通管路元件的第二端连通；换热元件，所述换热元件设置于所述主体单元，且所述换热元件与所述第一冷却盘管元件的第二端连通；第二连通管路元件，所述第二连通管路元件的第一端与所述换热元件连通，所述第二连通管路元件的第二端与所述第二储液元件连通；第一阀元件，所述第一阀元件设置于所述第一连通管路元件和所述第二连通管路元件，用于控制所述第一连通管路元件和所述第二连通管路元件的流通；其中，所述第一冷却单元包括：第一冷却元件，所述第一冷却元件设置于抛光盘的底部，并与抛光盘连接，用于安装零部件；第一冷却管路元件，所述第一冷却管路元件的第一端与所述储液单元连通，用于输送冷却液；第二冷却盘管元件，所述第二冷却盘管元件设置于所述第一冷却元件，并与所述第一冷却管路元件的第二端连通，用于对抛光盘冷却；第二阀元件，所述第二阀元件设置于所述第一冷却管路元件，用于控制所述第一冷却管路元件的流通；其中，所述第二冷却单元包括：第二冷却元件，所述第二冷却元件设置于所述储液单元与抛光设备的连通的管路，并与所述储液单元连通；第三冷却盘管元件，所述第三冷却盘管元件盘绕设置在所述第二冷却元件的内部，并与所述储液单元连通，用于对抛光液进行冷却；第二冷却管路元件，所述第二冷却管路元件分别与所述第三冷却盘管元件、所述储液单元连通；第三阀元件，所述第三阀元件设置于所述第二冷却管路元件，用于控制所述第二冷却管路元件的流通；其中，所述第三冷却单元包括：至少一个第三冷却元件，所述第三冷却元件设置于抛光设备，并与空气压缩机连通，用于存储压缩空气；若干气嘴元件，若干所述气嘴元件分别与所述第三冷却元件连通，用于向抛光垫吹扫气体；若干第三冷却管路元件，若干所述第三冷却管路元件分别将对应的所述气嘴元件和所述第三冷却元件连通，并将所述第三冷却元件和空气压缩机连通，用于输送气体。

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