芯恩(青岛)集成电路有限公司朱鹏涛获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利等离子处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637221U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420535702.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型等离子处理设备是由朱鹏涛设计研发完成，并于2024-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种等离子处理设备包括等离子处理腔室和磁隔离屏蔽罩，所述磁隔离屏蔽罩包括中空的筒状结构，所述筒状结构罩设于所述等离子处理腔室外且与所述等离子处理腔室的外壁贴合设置，以隔离外界磁场对所述等离子处理腔室内等离子体的干扰，且所述筒状结构的高度大于所述等离子处理腔室的高度。本实用新型能隔离外界磁场对等离子处理腔室内等离子体的干扰，从而保证了等离子处理腔室内磁场的稳定，避免了等离子处理腔室内的磁场受外界磁场干扰而导致等离子处理腔室内的等离子体分布不均，有利于提升对晶圆的处理的均一性和再现性。
本实用新型等离子处理设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子处理设备，其特征在于，包括:等离子处理腔室；磁隔离屏蔽罩，包括中空的筒状结构，所述筒状结构罩设于所述等离子处理腔室外且与所述等离子处理腔室的外壁贴合设置，以隔离外界磁场对所述等离子处理腔室内等离子体的干扰，且所述筒状结构的高度大于所述等离子处理腔室的高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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