江苏先导微电子科技有限公司苗江涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利天线腔体组件以及MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420415680.2，技术领域涉及：H01Q1/00；该实用新型天线腔体组件以及MPCVD设备是由苗江涛;张冲;聂伟华设计研发完成，并于2024-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本天线腔体组件以及MPCVD设备在说明书摘要公布了：提供一种天线腔体组件以及MPCVD设备。天线腔体组件包括天线和腔体，腔体围成底部封闭、周圈封闭但顶部开口的内腔，内腔用于收容产生微波的离子体；天线腔体组件还包括通道件，通道件包括底壁、内壁、外壁、环壁以及间隔壁：底壁封盖在腔体的顶部；内壁呈环形、连接在底壁的中间并向上延伸，内壁围成微波通道，微波通道与内腔连通；外壁呈环形，套设在内壁外，外壁的下端与天线的内缘密封固定连接；环壁在上下方向上连接在天线的外缘和底壁的外缘之间，内壁、底壁、环壁、天线、外壁围成封闭空间；间隔壁设置内壁和外壁之间，以将封闭空间分隔成供冷却介质流动的循环冷却流道。MPCVD设备包括前述的天线腔体组件。
本实用新型天线腔体组件以及MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种天线腔体组件，包括天线1和腔体2，其特征在于，腔体2围成底部封闭、周圈封闭但顶部开口的内腔21，内腔21用于收容产生微波的离子体400；天线腔体组件100还包括通道件3，通道件3包括底壁31、内壁32、外壁33、环壁34以及间隔壁35：底壁31封盖在腔体2的顶部；内壁32呈环形、连接在底壁31的中间并向上延伸，内壁32围成微波通道W，微波通道W与内腔21连通；外壁33呈环形，套设在内壁32外，外壁33的下端与天线1的内缘密封固定连接；环壁34在上下方向D上连接在天线1的外缘和底壁31的外缘之间，内壁32、底壁31、环壁34、天线1、外壁33围成封闭空间S；间隔壁35设置内壁32和外壁33之间，以将封闭空间S分隔成供冷却介质流动的循环冷却流道P。
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