恭喜中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司黄政获国家专利权
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龙图腾网恭喜中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637227U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420245831.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型加热装置是由黄政设计研发完成，并于2024-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种加热装置，用于干燥晶圆刻蚀清洗设备中的晶圆，主要包括：光源模块包括多个冷光源，多个冷光源排布成光源阵列，光源模块的发光侧与晶圆背面相对设置，光源模块的尺寸与晶圆的尺寸相适配，多个冷光源用于加热晶圆；驱动模块与光源模块电连接，驱动模块用于根据驱动信号控制多个冷光源；控制器与驱动模块电连接，控制器用于向驱动模块发送驱动信号。本申请可以通过控制模块发送驱动信号，使得驱动模块根据驱动信号控制光源模块中的多个冷光源。在点亮冷光源后，冷光源发射高亮度光能，再由光能转化为晶圆表面的热能，通过加热晶圆背面减小残留液体的表面张力，提升马拉戈尼效应的工艺效果，提高干燥效果。
本实用新型加热装置在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，用于干燥晶圆刻蚀清洗设备中的晶圆，其特征在于，包括：光源模块，所述光源模块包括多个冷光源，多个所述冷光源排布成光源阵列，所述光源模块的发光侧与所述晶圆背面相对设置，所述光源模块的尺寸与晶圆的尺寸相适配，多个所述冷光源用于加热所述晶圆；驱动模块，所述驱动模块与所述光源模块电连接，所述驱动模块用于根据驱动信号控制多个所述冷光源；控制器，所述控制器与所述驱动模块电连接，所述控制器用于向所述驱动模块发送所述驱动信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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