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恭喜朗姆研究公司约翰·爱德华·布桑获国家专利权

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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利一种插件装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222624896U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323353985.X,技术领域涉及:B05B1/00;该实用新型一种插件装置是由约翰·爱德华·布桑;普拉桑纳·库尔卡尼;雷切尔·E·巴策;郭曈曈;瓦姆希·克里希纳·奇蒂凯斯;张净云;龚波设计研发完成,并于2023-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种插件装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于半导体加工工具喷淋头或气体分配器的插件装置。该插件装置包括头部,其中所述头部具有第一表面和平行于所述第一表面的第二表面;从所述第二表面延伸出的轴部,并且所述轴部具有螺纹第一子部分;以及气体分配孔穿过所述头部和所述轴部并且沿垂直于所述第二表面的方向延伸。

本实用新型一种插件装置在权利要求书中公布了:1.一种插件装置,其包括:头部,其中所述头部具有第一表面和平行于所述第一表面的第二表面,并且所述第二表面具有与所述第一表面的外周的尺寸和形状基本相同的外周;从所述第二表面延伸出的轴部,其中:所述轴部的第一子部分沿其长度方向有螺纹并且具有小于所述第二表面的最大尺寸的直径,以及气体分配孔穿过所述头部和所述轴部并且沿垂直于所述第二表面的方向延伸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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