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龙图腾网恭喜华中科技大学申请的专利基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115016019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210623975.4，技术领域涉及：G01V7/00；该发明授权基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪是由伍文杰;高乐;李方正;涂良成设计研发完成，并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于双路错位阵列电容位移传感的闭环MEMS重力仪探头及重力仪，属于仪器仪表领域。探头包括：电容位移传感模块、电容检测电路模块、PID控制模块及反馈执行机模块，且这几个模块构成磁闭环回路。电容位移传感模块包括两路并行且错位m4个极板周期的动极板阵列，其中，m为正整数，当其中一路动极板阵列与定极板阵列构成的位移传感器处于非敏感区间时，另一路动极板阵列与定极板阵列构成的位移传感器正好处于敏感区间并用于检测振子位移。本发明的探头可有效避免现有单路阵列极板输出由于质量块下垂量不可控导致的位移检测失效的问题，提升了检测灵敏度，且采用闭环工作模式，提高探头响应时间，具有更强的抗干扰能力。

本发明授权基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪在权利要求书中公布了：1.一种基于双路错位阵列电容位移传感的闭环MEMS重力仪探头，其特征在于，包括：电容位移传感模块，包括弹簧-振子结构、定极板阵列、两路动极板阵列及上盖；所述两路动极板阵列设置在弹簧-振子结构上，所述两路动极板阵列并行布置，且错位m4个极板周期，其中，m为正整数；所述定极板阵列设置在上盖上，所述两路动极板阵列分别与所述定极板阵列构成电容位移传感结构，用于将待测重力加速度的相对变化转为电容变化量；电容检测电路模块，用于检测所述电容变化量，并将所述电容变化量转换为表征所述待测重力加速度的相对变化的电压量；PID控制模块，用于以所述电压量为输入，通过PID控制算法，计算使所述弹簧-振子结构中的质量块回到平衡状态时所需的反馈调节电压；反馈执行机模块，用于将所述反馈调节电压转变为电流，在磁场中产生安培力使所述弹簧-振子结构处于平衡状态；工作时，通过判断所述PID控制模块输出的反馈调节电压与所述待测重力加速度的相对变化之间的线性变换关系，选择采用所述两路动极板阵列中的第一路动极板阵列还是第二路动极板阵列作为输出阵列；具体地，当采用第一路动极板阵列作为输出阵列时，若所述PID控制模块输出的反馈调节电压不能线性的反应待测重力加速度的相对变化的变化，则切换第一路动极板阵列作为输出阵列。

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