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龙图腾网恭喜武汉大学申请的专利LiNbO₃/LiTaO₃压电涂层传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115184453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210624331.7，技术领域涉及：G01N29/04；该发明授权LiNbO₃/LiTaO₃压电涂层传感器及制备方法是由瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;杨兵;张翔宇;姜杨慧;张俊;陈燕鸣;黄家辉设计研发完成，并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本LiNbO₃/LiTaO₃压电涂层传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LiNbO3LiTaO3压电涂层传感器及制备方法，该LiNbO3LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构，由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层，其中，结合层为纯金属Cr，高温扩散阻挡层为AlN，压电功能层为LiNbO3LiTaO3纳米多层膜，保护层为Cr，过渡层为AgCr，电极层为Ag。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的压电性能、耐高温、耐腐蚀、抗辐照；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成渐变成分，降低涂层和基体应力，附着力优异；该结构可以满足薄膜高温稳定性和低应力的需要，满足长寿命高可靠运行的需求。

本发明授权LiNbO₃/LiTaO₃压电涂层传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种紧固件用耐高温LiNbO3LiTaO3压电涂层传感器，其特征在于：包括LiNbO3LiTaO3纳米复合压电涂层；所述LiNbO3LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构，由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层；其中，所述结合层为纯金属Cr层，高温扩散阻挡层为AlN层，压电功能层为LiNbO3LiTaO3纳米多层膜，保护层为Cr层，过渡层为AgCr层，电极层为Ag；在AlN高温扩散阻挡层沉积结束后，同时开启LiTaO3靶和LiNbO3靶，引入1.5-4PaAr、O2混合气体，ArO2比介于0.1-9；当紧固件转动到LiTaO3靶前面时，停留时长30-90分钟，形成LiTaO3涂层；当紧固件转动到LiNbO3靶前面时，停留时长30-90分钟，形成LiNbO3涂层，紧固件不停旋转，在其表面形成5-20对LiNbO3LiTaO3涂层，制备得到纳米多层复合压电功能涂层。

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