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龙图腾网恭喜四川明德亨电子科技有限公司申请的专利一种整板晶体微调方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114172479B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111683067.6，技术领域涉及：H03H3/04；该发明授权一种整板晶体微调方法及系统是由李斌;黄屹设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种整板晶体微调方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种整板晶体微调方法，首先对待刻蚀基板所有位置产品进行频率测量，利用网络将产品数据传至服务器；然后微调机对待刻蚀基板测量，读取服务器该基板测试位置产品的2号频率信息，计算出差值写入动态库；微调机根据自身测量值和前述差值进行频率调整；本方案1、使得产线可以柔性化生产，一台设备同时加工不同频率、负载晶体；2、解决了探针两次接触带来的测试随机偏差问题；3、解决了微调机工作环境对测试的系统误差问题；4、不需要在微调机上对标晶，从而提高生产效率。本发明还公开了一种对整板晶体微调的系统。

本发明授权一种整板晶体微调方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种整板晶体微调方法，其特征在于，基于整板晶体微调系统，所述整板晶体微调系统包括微调机、服务器、第三测量装置，所述微调机内设有第二测量装置，所述服务器内预先存储有各种规格晶体的标准工艺参数；每一块基板都具有唯一的身份ID，基于此身份ID，可以确定基板上晶体的规格；对机基板是指承载着产线标晶的一块基板，所述产线标晶是以元级标晶为基准制作的次级标准晶体，用做校对生产设备的基准，所述元级标晶是用来校准标准测量装置的晶体，用外部信号对作为标准测量装置的第一测量装置进行时钟校准，利用校准时钟后的第一测量装置测量元级标晶，根据测得值与元级标晶的理论值，设置第一测量装置的补偿值，确保第一测量装置的准确性，对机基板在生产过程中不断地在第一测量装置和第三测量装置之间循环测量，实现对第三测量装置的周期性校准，微调步骤如下：S1、进行刻前测量，获取本序基板的身份ID，利用第三测量装置对本序基板进行测量，获得本序基板上各晶体的位置信息和对应的3号频率信息，将晶体的位置信息、对应的各晶体的3号频率信息以及本序基板的身份ID绑定上传至服务器；S2、获取本序基板的身份ID，将本序基板装载入微调机；并将此步骤信息上传至服务器；S3、微调机根据本序基板的身份ID，从服务器中读取与本序基板对应的标准工艺参数，所述标准工艺参数包括标准频率信息；S4、利用微调机内的第二测量装置，对本序基板进行测量，获得本序基板上晶体的位置信息及各晶体对应的2号频率信息；S5、微调机根据本序基板的身份ID，从服务器读取步骤S1中获取的与本序基板对应的3号频率信息，与步骤S4中获取的2号频率信息进行比较计算，获得本序基板上同一位置晶体的2号3号频率差值；S6、微调机根据2号频率信息、2号3号频率差值及标准工艺参数，对本序基板上的晶体进行刻蚀微调，直至微调机内第二测量装置实时测得频率与2号3号频率差值的和与标准频率之间的差值小于设定阈值为止；将微调完后第二测量装置的实时测得频率上传至服务器。

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