恭喜株式会社日立高新技术田村仁获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社日立高新技术申请的专利等离子处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113874978B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080006797.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子处理装置是由田村仁;池田纪彦;许振斌设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子处理装置在说明书摘要公布了：等离子处理装置具备：在内部具备对基板进行等离子处理的等离子处理室并能将该等离子处理室的内部排气成真空的真空室；和对该真空室经由圆形波导管提供微波电力的微波电力提供部，在这样的等离子处理装置中，真空室具备：与圆形波导管连接并接受从圆形波导管传播的微波电力的平行平板线路部；配置于平行平板线路部的外周并接受从平行平板线路部传播的微波电力的环形谐振器部；接受从形成于该环形谐振器部的狭缝天线辐射的微波电力的空洞部；和将该空洞部和等离子处理室分离的微波导入窗，平行平板线路部在与环形谐振器部的边界部分具有调整从平行平板线路部传播到环形谐振器部的微波的相位的相位调整部而构成。
本发明授权等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子处理装置，其特征在于，具备：处理室，其对样品进行等离子处理；高频电源，其提供用于生成等离子的微波的高频电力；环形谐振器，其使传播的所述微波谐振，使得在将m设为2以上的整数的情况下，经由截面为圆形的圆形波导管传播的所述微波的模式成为在方位角方向上具有所述m个的波长相应量的微波的模式；和电介质窗，其配置于所述处理室的上方，使传播的所述微波向所述处理室透过，所述圆形波导管经由平行平板线路部而将所述微波传播到所述环形谐振器，所述平行平板线路部具备：相位调整器，其上表面以及下表面为圆形，使向所述环形谐振器传播的所述微波的相位为给定的相位，所述环形谐振器具备沿着圆周方向而配置的多片导体板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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