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龙图腾网恭喜东莞嘉拓日晟智能科技有限公司申请的专利一种等离子体增强化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112030144B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010996920.9，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权一种等离子体增强化学气相沉积设备是由钱锋;姚飞;王小东;廖运华;梁锦东;陈进福设计研发完成，并于2020-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体增强化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括抽真空机构、反应机构及移送机构，抽真空机构与反应机构相连通，移送机构将待处理产品送入或取出反应机构，反应机构包括反应腔室、电极组件及承载组件，电极组件设置在反应腔室的顶端并在反应腔室的内部移动，承载组件设置在反应腔室的底端并在反应腔室的内部移动，电极组件包括至少一个出气装置，出气装置从上往下依次包括弥散管和弥散球头，弥散管和弥散球头均设有若干个均匀分布的弥散孔。以此可以使镀膜气体从弥散管和弥散球头中全方位发散，确保镀膜气体能均匀地粘附在疫苗瓶内壁，避免疫苗瓶内壁出现镀膜缺陷、不完整的问题，有利于提高疫苗瓶的生产质量。

本发明授权一种等离子体增强化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，包括抽真空机构、反应机构及移送机构，所述抽真空机构与所述反应机构相连通，所述移送机构将待处理产品送入或取出所述反应机构，所述反应机构包括反应腔室、电极组件及承载组件，所述电极组件设置在所述反应腔室的顶端并在所述反应腔室的内部移动，所述承载组件设置在所述反应腔室的底端并在所述反应腔室的内部移动，所述电极组件包括至少一个出气装置，所述出气装置从上往下依次包括呈中空状的弥散管和弥散球头，所述弥散管和所述弥散球头均设有若干个均匀分布的弥散孔，所述电极组件为导电材料，所述电极组件加设偏压电源；所述电极组件还包括第一升降机构、上电极板及进气通道，所述第一升降机构固定在所述反应腔室的顶端，所述上电极板固定在所述第一升降机构的升降轴上，所述上电极板与所述进气通道相连通，所述出气装置固定在所述上电极板的底端并与所述上电极板连通，所述上电极板与偏压负极连接；所述承载组件包括第二升降机构、下电极板及定位件，所述第二升降机构固定在所述反应腔室的底端，所述下电极板固定在所述第二升降机构的升降轴上，所述定位件设于所述下电极板上，所述下电极板与偏压正极连接。

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