恭喜台湾积体电路制造股份有限公司许乔竣获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微机电系统梳状致动器及形成梳状结构的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112441552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010657012.7，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权微机电系统梳状致动器及形成梳状结构的方法是由许乔竣;陈志明;喻中一;潘隆源设计研发完成，并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统梳状致动器及形成梳状结构的方法在说明书摘要公布了：在一些实施例中，本公开涉及一种包括梳状结构的微机电系统MEMS梳状致动器。所述梳状结构包括：支撑层，具有第一材料；以及多个突起物，在第一方向上远离支撑层的第一表面延伸。所述多个突起物也由第一材料制成。所述多个突起物沿与支撑层的第一表面平行的第二方向分隔开。所述微机电系统梳状致动器还可包括介电衬垫结构，介电衬垫结构连续地且完全地覆盖支撑层的第一表面及所述多个突起物的多个外表面。所述介电衬垫结构包括连续地连接所述多个突起物中的至少两个突起物的最顶表面的连接部分。
本发明授权微机电系统梳状致动器及形成梳状结构的方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统梳状致动器，包括：梳状结构，包括：支撑层，包含第一材料，以及多个突起物，包含所述第一材料且在第一方向上远离所述支撑层的第一表面延伸，其中所述多个突起物沿第二方向分隔开，所述第二方向与所述支撑层的所述第一表面平行；以及介电衬垫结构，连续地且完全地覆盖所述支撑层的所述第一表面及所述多个突起物的多个外表面，其中所述介电衬垫结构包括连接部分，所述连接部分连续地连接所述多个突起物中的至少两个突起物的多个最顶表面，且其中与所述第一方向及所述第二方向垂直的第三方向和所述多个突起物中的所述至少两个突起物的所述最顶表面正交。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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