恭喜极光先进雷射株式会社大贺仁获国家专利权
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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115485937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080100434.2,技术领域涉及:H01S3/10;该发明授权脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法是由大贺仁;松本慎一;宫本浩孝设计研发完成,并于2020-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有:第1延迟光学系统,在第1延迟光学系统中,由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上;第2延迟光学系统,在第2延迟光学系统中,由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上;以及第1射束旋转机构,其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上,使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转,以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。
本发明授权脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种脉冲宽度扩展装置,其具有:第1延迟光学系统,其包含第1分束器和多个第1凹面镜,由所述第1分束器和所述多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上;第2延迟光学系统,其包含第2分束器和多个第2凹面镜,由所述第2分束器和所述多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与所述第1平面平行且与所述第1平面不同的第2平面上;以及第1射束旋转机构,其被配置于所述第1延迟光学系统与所述第2延迟光学系统之间的光路上,使通过所述第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转,以使在所述第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与所述第2平面正交,所述脉冲宽度扩展装置还具有返回传播光学系统,该返回传播光学系统传播通过所述第2延迟光学系统后的脉冲激光,被形成于所述返回传播光学系统内的光路被形成于与所述第2平面为同一平面的平面上。
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