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龙图腾网恭喜青岛高测科技股份有限公司申请的专利一种多功能硅片检测平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111457878B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010413793.5，技术领域涉及：G01B21/08；该发明授权一种多功能硅片检测平台是由李璐;邢旭;贺基凯;唐亮设计研发完成，并于2020-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多功能硅片检测平台在说明书摘要公布了：本发明属于硅片检测技术领域，特别涉及一种多功能硅片检测平台，包括安装底座，安装底座上设有检测模块，检测模块旁设有光伏硅片移载模块和半导体硅片移载模块。检测模块包括支架、固定在支架上的第一直线导轨以及滑动设置在第一直线导轨上的检测传感器；光伏硅片移载模块包括第一线性模组和滑动设置在第一线性模组上的光伏硅片输送组件；半导体硅片移载模块包括第二线性模组、设置在第二线性模组上的旋转平台以及设置在旋转平台顶部的可调抓盘。本发明通过光伏硅片移载模块和半导体硅片移载模块配套的设计，同时兼容光伏和半导体硅片的检测，实现光伏和半导体硅片的厚度、TTV、翘曲、弯曲的检测，大大提高了研发人员的硅片检测效率。

本发明授权一种多功能硅片检测平台在权利要求书中公布了：1.一种多功能硅片检测平台，包括安装底座10，其特征在于，所述安装底座10上设有检测模块20，检测模块20旁设有光伏硅片移载模块30和半导体硅片移载模块40；所述检测模块20包括支架21、固定在支架21上的第一直线导轨24以及滑动设置在第一直线导轨24上的检测传感器27；所述光伏硅片移载模块30包括第一线性模组31和滑动设置在第一线性模组31上的光伏硅片输送组件；所述半导体硅片移载模块40包括第二线性模组41、设置在第二线性模组41上的旋转平台43以及设置在旋转平台43顶部的可调抓盘45；所述支架21包括上横梁22和下横梁23，所述上横梁22和所述下横梁23上均设置所述第一直线导轨24；所述检测传感器27通过安装座26与所述第一直线导轨24上的第一滑块25连接；所述安装座26远离所述第一滑块25一端设有夹爪；沿所述第一线性模组31长度方向的两侧均设置第二直线导轨32，第二直线导轨32上设置第二滑块35；两个所述第二直线导轨32分别设置在所述支架21的两侧；所述光伏硅片输送组件包括连接底板33和固定在连接底板33长度方向两侧的立板34；两个所述立板34的两端分别通过主动轴37和从动轴39连接，主动轴37通过其两端的轴承座371固定于两个所述立板34之间，从动轴39通过其两端的第一惰轮固定于两个所述立板34之间；所述连接底板33两端分别与两个所述第二滑块35固定；所述轴承座371内侧通过键连接第一同步带轮372，第一同步带轮372设置在所述立板34内侧；在所述立板34外侧设有一个第二同步带轮38，第二同步带轮38和所述第一同步带轮372同轴设置；所述连接底板33靠近所述主动轴37一端的底部设有第一伺服电机36；所述第一伺服电机36的输出轴通过键连接第三同步带轮382；所述第二同步带轮38和所述第三同步带轮382通过传动带381驱动运转；所述旋转平台43通过连接板42固定在所述第二线性模组41上；所述旋转平台43一侧设有第二伺服电机44，第二伺服电机44与所述旋转平台43的驱动输入端相连。

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