恭喜西默有限公司W·D·吉莱斯皮获国家专利权
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龙图腾网恭喜西默有限公司申请的专利生成多个激光束的设备和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113841309B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080037257.8,技术领域涉及:H01S3/0943;该发明授权生成多个激光束的设备和方法是由W·D·吉莱斯皮;J·J·索内斯;T·P·达菲;E·A·梅森;R·波德尔设计研发完成,并于2020-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本生成多个激光束的设备和方法在说明书摘要公布了:使用多个激光室生成多个激光束的设备和方法。射束的相对定时是可控的,因此它们可以例如交错,可以重叠,或者被防止重叠,或者可以快速次序发生。射束可以具有不同光谱和功率特性,诸如不同波长。还公开了一种系统,其中多个激光室中的至少一个激光室被配置为生成两个不同波长的辐射。
本发明授权生成多个激光束的设备和方法在权利要求书中公布了:1.一种气体放电激光系统,包括:第一激光室模块,所述第一激光室模块适于生成具有第一波长的激光辐射的第一射束;第二激光室模块,所述第二激光室模块适于生成具有第二波长的激光辐射的第二射束,所述第二波长不同于所述第一波长;以及射束组合器,被布置为接收所述第一射束和所述第二射束,并且适于沿着公共输出射束路径传播所述第一射束和所述第二射束,其中所述射束组合器被配置为将所述第一射束和所述第二射束传播至扫描仪,以在单个行程中将衬底暴露于具有所述第一波长的辐射和具有所述第二波长的辐射,其中所述气体放电激光系统被配置为通过扫描仪接口接收用于调节所述第一波长和所述第二波长的指令。
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