恭喜应用材料公司岑羲获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于形成金属间隙填充物的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113678231B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080027926.3，技术领域涉及：H01L21/285；该发明授权用于形成金属间隙填充物的方法是由岑羲;马飞越;吴凯;雷雨;大东和也;徐翼;维卡什·班西埃;张镁;任河;雷蒙德·霍曼·洪;姚雅宽;阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯;戴维·T·奥;周静;蹇国强;林志周;赖一鸣;叶佳;王振宇设计研发完成，并于2020-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于形成金属间隙填充物的方法在说明书摘要公布了：本公开内容一般涉及用于处理基板的方法，且更尤其涉及用于形成金属间隙填充物的方法。在一个实施方式中，该方法包括使用多步骤处理在开口中形成金属间隙填充物。多步骤处理包括：形成金属间隙填充物的第一部分，实行溅射处理以在一个或多个侧壁上形成一个或多个层，和使金属间隙填充物的第二部分生长以用金属间隙填充物来填充开口。通过多步骤处理形成的金属间隙填充物是无缝的，且形成在一个或多个侧壁上的一个或多个层密封在金属间隙填充物与侧壁之间的任何间隙或缺陷。由此，在后续处理中利用的流体不会扩散穿过金属间隙填充物。
本发明授权用于形成金属间隙填充物的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于形成金属间隙填充物的方法，所述方法包含以下步骤：在形成在第一层的开口的侧壁之间形成第二层；在所述第二层的第一表面上选择性地形成所述金属间隙填充物的第一部分，所述第一表面在所述开口的所述侧壁之间，所述第一部分包含一种包含第一金属的材料；将所述第一金属从所述第一部分溅射至所述开口的所述侧壁以形成与所述开口的所述侧壁及所述第一部分直接接触的层；和形成所述金属间隙填充物的第二部分，以用所述金属间隙填充物来填充所述开口，其中所述第二部分与所述第一部分为相同的材料，其中所述第一金属包含钴、钨或钌。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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