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龙图腾网获悉华景传感科技(无锡)有限公司申请的专利一种MEMS陀螺仪及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119330294B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411865311.4，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权一种MEMS陀螺仪及其制备方法是由缪建民;高云飞;王志宏设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS陀螺仪及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS陀螺仪及其制备方法。陀螺仪包括：电极包括多个内电极、多个环间电极和多个外电极；至少两个振环环绕多个内电极；多个环间电极设置于相邻的振环之间，且多个环间电极沿振环的周向均匀排列；多个外电极设置于振环和锚固区之间，多个外电极沿振环的周向依次排列；多个连接梁设置于锚固区和外电极之间，且多个连接梁沿振环的周向依次排列；锚固区、环间电极和内电极固定设置在基底上，连接梁、振环和外电极与基底之间具有空腔；连接梁与锚固区之间，连接梁与外电极之间，外电极与振环之间，振环与环间电极之间，相邻的环间电极之间，以及振环与内电极之间均具有间隙。本发明提高了陀螺仪的灵敏度。

本发明授权一种MEMS陀螺仪及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：基底以及设置于基底一侧的器件层；所述器件层包括锚固区、电极、多个连接梁和至少两个振环；所述锚固区环绕所述电极、所述多个连接梁和所述至少两个振环；所述电极包括多个内电极、多个环间电极和多个外电极；所述至少两个振环环绕多个所述内电极，多个所述内电极环绕所述陀螺仪的中心均匀设置；多个所述环间电极设置于相邻的所述振环之间，且多个所述环间电极沿所述振环的周向均匀排列；多个所述外电极设置于所述振环和所述锚固区之间，多个所述外电极沿所述振环的周向依次排列；多个所述连接梁设置于所述锚固区和所述外电极之间，且多个所述连接梁沿所述振环的周向依次排列；所述锚固区、所述环间电极和所述内电极固定设置在所述基底上，所述连接梁、所述振环和所述外电极与所述基底之间具有空腔；连接梁与锚固区之间，连接梁与外电极之间，外电极与振环之间，振环与环间电极之间，相邻的环间电极之间，以及振环与内电极之间均具有间隙；相邻的所述振环之间通过多个直梁连接，多个直梁沿所述振环的周向依次排列，每一所述直梁的两端与相邻的两个振环连接；每一所述连接梁的一端与所述振环连接，另一端与所述锚固区连接；每一所述外电极的一端与所述锚固区连接。

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