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龙图腾网获悉季华恒一(佛山)半导体科技有限公司申请的专利一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297075B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411812443.0，技术领域涉及：H01L21/265；该发明授权一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机是由吴彩庭;朱卓荣;孔倩茵设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机在说明书摘要公布了：本申请涉及离子注入技术领域，具体提供了一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机，该系统包括：支架；多个靶盘组件，圆周阵列在支架上且与支架铰接，用于安装晶圆；多个靶连杆，每个靶连杆的一端均与一个靶盘组件铰接；升降机构，安装在支架上且与所有靶连杆的另一端铰接，用于驱动所有靶连杆的另一端同步上升或下降，以使所有靶盘组件同步向下摆动或向上摆动；该系统能够有效地解决无法根据晶圆的制备需求调节靶盘的倾斜角度的问题。

本发明授权一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种角度可调的多工位靶台系统，应用在离子注入机中，其特征在于，所述角度可调的多工位靶台系统包括：支架；多个靶盘组件，圆周阵列在所述支架上且与所述支架铰接，用于安装晶圆；多个靶连杆，每个所述靶连杆的一端均与一个所述靶盘组件铰接；升降机构，安装在所述支架上且与所有所述靶连杆的另一端铰接，用于驱动所有所述靶连杆的另一端同步上升或下降，以使所有所述靶盘组件同步向下摆动或向上摆动;所述升降机构包括竖直滑动件和驱动机构，所述竖直滑动件滑动安装在所述支架上，所述靶连杆的另一端与所述竖直滑动件铰接，所述驱动机构安装在所述支架上，所述驱动机构用于驱动所述竖直滑动件在所述支架上向上或向下滑动;所述支架上固定有固定杆，所述竖直滑动件包括滑动座和滑动连接板，所述驱动机构包括调节连杆，所述调节连杆与所述支架铰接，所述调节连杆的一端与所述滑动座底部抵触，所述滑动座与所述固定杆滑动连接，所述滑动连接板与所述滑动座固定连接，所述靶连杆的另一端与滑动连接板铰接，所述固定杆顶部具有限位倒扣，所述角度可调的多工位靶台系统还包括压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述限位倒扣和所述滑动座顶部抵触;所述驱动机构还包括电机和丝杆副，所述丝杆副与所述电机连接且与所述调节连杆的另一端抵触，所述电机用于驱动所述丝杆副转动，所述角度可调的多工位靶台系统还包括控制器，所述控制器用于在存在未进行离子注入的晶圆且对该晶圆进行离子注入前，根据预设的工艺参数获取该晶圆对应的预设倾斜角度，并根据预设倾斜角度和所述靶盘组件当前的倾斜角度控制所述电机驱动所述丝杆副转动。

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