北京晨晶电子有限公司吴黎明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晨晶电子有限公司申请的专利一种压力传感器敏感结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119268889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411785118.X,技术领域涉及:G01L1/10;该发明授权一种压力传感器敏感结构是由吴黎明;廖兴才;汤一;田珂珂;刘慧芳;张博伦;李清照;王毓婷;张兆琦设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力传感器敏感结构在说明书摘要公布了:本申请涉及力测量技术领域,提供一种压力传感器敏感结构,压力传感器敏感结构包括感压层、振梁层和基底层,感压层包括感压膜,感压膜设有第一凹腔和凸台,凸台设于第一凹腔之中,第一凹腔和凸台形成应力隔离槽结构;振梁层振梁层包括振梁基体和多个振梁结构,振梁基体连接于感压层设有第一凹腔的一侧,振梁结构连接于振梁基体,振梁结构包括测压振梁和基准振梁,测压振梁的锚区固定连接于凸台,基准振梁的锚区固定连接于振梁基体;基底层连接于振梁层,振梁层设于感压层和基底层之间。通过感压膜的第一凹腔和凸台,可以有效地吸收装配应力以及热应力,减少感压膜扭曲变形的可能,凸台可以放大感压膜的形变量。
本发明授权一种压力传感器敏感结构在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器敏感结构,其特征在于,包括:感压层(100),包括感压膜(110),所述感压膜(110)设有第一凹腔(111)和凸台(112),所述凸台(112)设于所述第一凹腔(111)之中,所述第一凹腔(111)和所述凸台(112)形成应力隔离槽结构;振梁层(200),所述振梁层(200)包括振梁基体(210)和多个振梁结构(220),所述振梁基体(210)连接于所述感压层(100)设有所述第一凹腔(111)的一侧,所述振梁结构(220)连接于所述振梁基体(210),所述振梁结构(220)包括测压振梁(221)、基准振梁(222)和匹配振梁(223),所述测压振梁(221)的锚区(226)固定连接于所述凸台(112),所述基准振梁(222)的锚区(226)固定连接于所述振梁基体(210);所述基准振梁(222)的第一激振电极(224)通过在振梁基体(210)上走线引出;所述匹配振梁(223)和所述基准振梁(222)关于所述测压振梁(221)对称设于所述振梁基体(210),所述匹配振梁(223)的锚区(226)固定连接于所述振梁基体(210);基底层(300),连接于所述振梁层(200),所述振梁层(200)设于所述感压层(100)和所述基底层(300)之间。
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