恭喜珠海格力电器股份有限公司郭依腾获国家专利权
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龙图腾网恭喜珠海格力电器股份有限公司申请的专利功率半导体器件及其制作工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112397380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910760390.5,技术领域涉及:H01L21/28;该发明授权功率半导体器件及其制作工艺是由郭依腾;史波设计研发完成,并于2019-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本功率半导体器件及其制作工艺在说明书摘要公布了:本申请涉及功率半导体器件技术领域,具体而言,涉及一种功率半导体器件及其制作工艺。功率半导体器件的制作工艺包括以下步骤:在衬底的正面沉积一层外延层并完成功率半导体器件正面结构的制作;对所述衬底的背面进行刻蚀,刻蚀穿整个衬底,直至外延层,形成引线孔;在所述引线孔里填充金属并在所述衬底背面垫积形成背面金属层,并退火合金,将所述外延层通过金属引线到背面金属层。本工艺不需对衬底进行减薄,而是采用引线孔技术,将背面电极引出。在不影响焊接工艺和功率半导体器件电性的基础上,取缔了减薄工艺,保留了衬底作为支撑,避免了减薄过程以及后续薄片制作工艺上造成的碎片风险,节约了成本。
本发明授权功率半导体器件及其制作工艺在权利要求书中公布了:1.一种功率半导体器件的制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:在衬底的正面形成一层外延层并完成功率半导体器件正面结构的制作;对所述衬底的背面进行刻蚀,刻蚀穿整个衬底,直至外延层,形成引线孔;在所述引线孔里填充金属并在所述衬底背面垫积形成背面金属层,并退火合金,将所述外延层通过金属引线到背面金属层,器件背面的所述引线孔的总面积大于等于器件正面的引线孔的总面积。
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