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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利与高选择性氧化物移除及高温污染物移除整合的外延系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111033713B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880054151.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权与高选择性氧化物移除及高温污染物移除整合的外延系统是由劳拉·哈夫雷查克;劳建邦;埃罗尔·C·桑切斯;舒伯特·S·楚;图沙尔·曼德雷卡尔设计研发完成，并于2018-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本与高选择性氧化物移除及高温污染物移除整合的外延系统在说明书摘要公布了：在一个实施方案中，处理系统包括第一转移腔室、第二转移腔室、过渡站、第一等离子体腔室、及装载锁定腔室，第一转移腔室耦接到至少一个外延处理腔室，过渡站设置于第一转移腔室与第二转移腔室之间，第一等离子体腔室耦接至第二转移腔室，以用于从基板的表面移除氧化物，装载锁定腔室耦接至第二转移腔室。过渡站连接到第一转移腔室与第二转移腔室，并且过渡站包括用于从基板的表面移除污染物的第二等离子体腔室。

本发明授权与高选择性氧化物移除及高温污染物移除整合的外延系统在权利要求书中公布了：1.一种处理系统，包含：转移腔室，耦接到至少一个气相外延腔室；真空腔室，耦接到所述转移腔室，所述真空腔室包含氧化物移除腔室，所述氧化物移除腔室包含：盖组件，具有混合腔室与气体分配器，其中所述盖组件包括从上到下按顺序堆叠的第一板、第二板、第三板、第四板、第五板和第六板，所述第一板耦接至所述第二板，并且所述第二板耦接至所述第三板；第一气体入口，穿过所述盖组件的所述第四板的一部分形成，并通过所述第四板的中心导管和形成在与所述中心导管耦接的所述第五板的开口与形成在所述第六板中的所述混合腔室流体连通；第二气体入口，穿过所述盖组件的所述第四板的一部分形成，并通过形成在所述第四板中的第一圆柱形通道和形成在所述第五板中的多个第一孔与所述混合腔室流体连通；第三气体入口，穿过所述盖组件的所述第四板的一部分形成，并通过形成在所述第四板中的第二圆柱形通道和形成在所述第五板中的多个第二孔与所述混合腔室流体连通；以及基板支撑件，具有：基板支撑表面；冷却通道；以及升降构件，设置于所述基板支撑表面的凹部中，并通过所述基板支撑件耦接到升降致动器；等离子体污染物移除腔室，耦接至所述转移腔室，所述等离子体污染物移除腔室包含：远程等离子体源；以及基板支撑件，可操作以将设置在所述基板支撑件上的基板加热至25℃与650℃之间的温度。

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