恭喜日本碍子株式会社山名启太获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本碍子株式会社申请的专利半导体制造装置用加热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114093792B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111371780.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体制造装置用加热器是由山名启太;曻和宏;鸟居谦悟设计研发完成，并于2018-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制造装置用加热器在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体制造装置用加热器，其是在AlN陶瓷基体的内部埋设有发热体的半导体制造装置用加热器，在所述AlN陶瓷基体中埋设有RF电极，所述AlN陶瓷基体在含有O、C、Ti、Ca、Y的同时，含有铝酸钇相作为结晶相，且TiCa的质量比为0.13以上，所述AlN陶瓷基体的Ti含有率为18质量ppm以上95质量ppm以下。
本发明授权半导体制造装置用加热器在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造装置用加热器，其是在AlN陶瓷基体的内部埋设有发热体的半导体制造装置用加热器，在所述AlN陶瓷基体中埋设有RF电极，所述AlN陶瓷基体在含有O、C、Ti、Ca、Y的同时，含有铝酸钇相作为结晶相，且TiCa的质量比为0.13以上，所述AlN陶瓷基体的Ti含有率为18质量ppm以上95质量ppm以下。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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